GB51034-2014多晶硅工廠設(shè)計規(guī)范.doc
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本規(guī)范共分12章和3個附錄，主要內(nèi)容包括：總則，術(shù)語，基本規(guī)定，廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃，工藝設(shè)計，電氣及自動化，輔助設(shè)施，建筑結(jié)構(gòu)，給水、排水和消防，采暖、通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)，環(huán)境保護(hù)、安全和衛(wèi)生，節(jié)能、余熱回收等。
1.0.1為規(guī)范多晶硅工廠的工程設(shè)計，提高工程設(shè)計質(zhì)量，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全可靠、環(huán)保節(jié)能，制定本規(guī)范。
1.0.2本規(guī)范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建、擴(kuò)建和改建多晶硅工廠的工程設(shè)計，也適用于硅烷歧化法多晶硅廠中三氯氫硅合成、四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設(shè)計。
1.0.3多晶硅工廠設(shè)計應(yīng)積極采用節(jié)能、環(huán)保、高效、先進(jìn)的裝備和工藝，提髙資源、能源利用率，實(shí)現(xiàn)物料、能源綜合利用和清潔生產(chǎn)。
1.0.4多晶硅工廠設(shè)計除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
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