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      GB50809-2012硅集成電路芯片工廠設計標準規范.pdf
      
                
                
      
                  
                    
      
                        更新時間：
                        2023-11-17
                    
      
                    
      
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      資料簡介
      
                    
       硅集成電路芯片工廠設計標準規范共分八章，主要內容為：總則、術語、工藝設計、總體設計、建筑與結構、防微振、冷熱源、給排水及消防、電氣。
      
                
      
                
                
      
                    
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